ガス分析装置(四重極型質量分析計)
ファイファーバキューム製 オムニスター(OmniStar)
測定質量数 1〜100amu
公称検出限界 <1ppm
検出器 ファラデーカップ+チャンネルトロン増倍管
ガス導入部 ステンレスキャピラリー
キャピラリー寸法 外径:1/16インチ、内径:0.1mm
キャピラリー長さ 1m
ガス導入量 1〜2sccm
ガス導入圧力 500〜1500hPa
ガス導入部最大加熱温度 200℃
排気部 PTFEチューブ 外径6mm
測定スピード アナログスキャン:200msec〜60sec/amu
バーグラフスキャン:20msec〜60sec/amu
トレンド:10msec〜60sec/ch
測定チャンネル 64チャンネル
接続 Swagelok 1/16”
アナログ信号出力 2チャンネル:0〜±5VDC(16bit)
トリガー入力 1チャンネル:TTL
仕 様
伯東株式会社ホームページより引用