各気体のコンバージョンファクター(N2=1.00)

ガス種	C.F.	ガス種	C.F.
窒素（N2)	1.00	メタン（CH4)	0.74
ヘリウム(He)	1.40	エタン（C2H6)	0.51
水素（H2)	1.00	プロパン（C3H8)	0.34
酸素（O2）	0.99	ブタン（C4H10)	0.32
一酸化炭素（CO)	1.00	エチレン（C2H4)	0.64
アルゴン(Ar)	1.40	空気	1.00
一酸化窒素（NO)	0.99
アンモニア（NH3)	0.78
二酸化炭素(CO2)	0.74

流量設定の計算例
Heで校正されているマスフローコントローラーを使って、N₂を50ccm流したい場合、マスフローコントローラーをいくつに設定すればよいか？ \begin{align}{設定値(SV)}\Large&=\frac{実際に流す気体の流量×マスフローコントローラーのC.F.}{実際に流す気体のC.F.}\tag{1}\\ &=\frac{50 ccm（窒素の流量）×1.4 (HeのC.F.）}{1.00（窒素のC.F.）}\\ &=\LARGE{70ccm} \end{align}

混合ガスの流量設定の計算例

O₂で校正されているマスフローコントローラーを使って、10%-O₂/90%-Heの混合ガスを10ccm流したい場合、マスフローコントローラーをいくつに設定すればよいか？

①まず、混合ガスのコンバージョンファクターを求める。

\begin{align}{混合ガスのC.F.}\Large&=\frac{100}{\frac{気体Aの濃度(\%)}{気体AのC.F.}+\frac{気体Bの濃度(\%)}{気体BのC.F.}}\tag{2}\\ &=\frac{100}{\frac{10\%(酸素の濃度）}{0.99（酸素のC.F.）}+\frac{90\%(Heの濃度)}{1.40(HeのC.F.)}}\\ {10\% O_2/90\% HeのC.F}&=\LARGE{1.34} \end{align}

②あとは、このコンバージョンファクターと式(1)から設定値を求める。

\begin{align}{O_2校正MFCの設定値}\Large&=\frac{10ccm（混合ガスの流量）×0.99（酸素のC.F.)}{1.34(混合ガスのC.F.）}\\ &=\LARGE{7.38ccm} \end{align}