| 測定質量数 | 1〜100amu |
| 公称検出限界 | <1ppm※ |
| 検出器 | ファラデーカップ＋チャンネルトロン増倍管 |
| ガス導入部 | ステンレスキャピラリー |
| キャピラリー寸法 | 外径：1/16インチ、内径：0.1mm |
| キャピラリー長さ | 1m |
| ガス導入量 | 1〜2sccm |
| ガス導入圧力 | 500〜1500hPa |
| ガス導入部最大加熱温度 | 200℃ |
| 排気部 | PTFEチューブ 外径6mm |
| 測定スピード | アナログスキャン：200msec〜60sec/amu バーグラフスキャン：20msec〜60sec/amu トレンド：10msec〜60sec/ch |
| 測定チャンネル | 64チャンネル |
| 接続 | Swagelok 1/16” |
| アナログ信号出力 | 2チャンネル：0〜±5VDC(16bit) |
| トリガー入力 | 1チャンネル：TTL |